標準解決方案:切割
多樣化切削功能
從方型2吋到12吋多種基質板的切削應用,TS系列切割機配備1.2千瓦(2吋刀片)或2.4千瓦(2~4吋刀片)可進行多樣材質的切削。不論是極薄的矽晶圓、BGA/CSP/QFN基質板、厚玻璃、斜切或SMD基質板,TS系列皆可完美達成客戶需求。
優越的切削品質
龍門支架及前懸掛式軸心結構設計能有效地防止震動,因此TS系列切割機能達到優越而始終如一的切削品質。
擁有更快的軸速度及高度自動化功能包括自動校準、自動切痕檢視及非接觸式設定,讓TS系列切割機致力於實際切削而非切削前的設定準備動作,同時並可降低操作錯誤,因此TS系列為一有成本效益的系統。
安全系統檢查,包括刀片破損檢測、設備檢查,防止任何晶圓、刀片、機器的損害,保持7x 24生產持續運轉。
內建資料記錄系統,可記錄所有操作步驟、選擇性支援條碼辨識機及網路系統,增加生產力及車間作業管理系統之控管。
Dicing: Zen Voce 貼片機
可剝除晶圓上之膠膜,即使是極薄的晶圓亦可剝除
節省空間的小機型