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TC1201 清洗机

TC1201 清洗机

  • 高压水冲洗有效移除附着颗粒
  • 兼容晶圆,玻璃和 PCB板的清洗
  • 离子风扇和CO2 混合机可有效去除表面静电
  • 触控萤幕操作并可存储操作参数资料
  • 更小的外形尺寸可节省空间
  • 内置安全保护装置
产品规格
技术规格
项目 内容
工件尺寸 TC1201 : Φ12” ( 275x275 mm square)
清洗甩干时间设置 0.3sec to 30min
清洗方式 TC1201A : 二流体
TC1201H : 高压水柱, 20 - 120kgf/cm
主轴转速 2000rpm
甩干方式 N2 or air
选配功能  
离子风扇 Yes
陶瓷工作盘 Yes
二流体喷嘴 Yes
清洗剂 Yes
CO2 混合机 Yes
稳压装置 Yes
电源  
电压 220VAC, 1 phase, 50~60Hz
消耗 1.3kVA
空气  
气压 5.0~8.0 kgf/cm2
过滤 0.01μm/99.5% or higher
消耗 200L/min
氮气  
压力 5.0~8 .0kgf/cm2
消耗 54L/min
 
压力 2 - 4kgf/cm2
类型 DI water
流量 0.2 - 1L/min
尺寸 650W x 1100D x 1300H
重量 TC1200 : 250kgw
(以上规格变动不另行通知,最新讯息请洽本公司。)