特点：
TC1201AC
Φ8” and 12”
高压水，双流体雾化器
PLC+（触摸面板）
TC1201AC 自动溶剂型晶圆旋转清洗机。其工件尺寸为8英寸和12英寸。由于这是用于溶剂型清洗剂，它具有消防系统设计，使其更加安全。此外，它还具有醋酸和IPA溶剂的双臂设计。所有零件均采用耐腐蚀设计。
