150mm & 200mm 全自动双轴晶圆切割-TS861 (200mm & 300全自动双轴晶圆切割-TS861
直观式的操作辅助操作者
通过LCD触控面板，可一边使用显微镜画面一边进行校准教学等操作。此外，借由机台状况的图表和MTBA（机台平均停机处理时间）状态的显示，使得操作人员可以以过图像化的方式掌握机台的运行状况。异常发生时的处理方法也在画面上给予指示，可辅助进行故障排除作业。
產品規格
抑制微粒粉尘的选项
- 切割部二流体喷嘴。
- Spinner部二流体喷嘴。
- 工作盘水帘来防止因微粒干燥所引起的硬化。
- 强抽风管（主轴）。
标配功能
- 自动刀痕校正（Auto Kerf Check）。
- 非接触式刀高测量（NCS，Non-Contact Setup）。
- 刀片断裂检测（Blade Broken Detector）。
- 二流体喷嘴。
选配功能
- 硬件：在线磨刀（In-line Dressing），微尘增强清洁（Class 100），激光刀痕对准（Laser Kerf Alignment，特殊CCD），CO2机（外挂），药液混合设备（外挂）。
- 软件：激光刀痕对准（Laser Kerf Alignment），SECS/GEM，其他定制化软件功能。
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规格 |
单位 |
TS861 |
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(1.2/1.8/2.4Kw) |
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最大工作范围 |
mm |
Φ200/Φ150 |
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X-axis |
Cutting range |
mm |
210/160 |
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Cutting speed |
mm/sec |
0.1-1,000 |
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Y1、Y2-axis |
Cutting range |
mm |
210 |
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Index step |
mm |
0.0001 |
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Index positioning accuracy |
mm |
0.003/210 |
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mm |
0.002/5(Single error) |
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Z-axis |
Max. stroke |
mm |
14.2(For φ2”blade) |
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Moving resolution |
mm |
0.0000003(24bit) |
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Repeatability accuracy |
mm |
0.001 |
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ϴ-axis |
Max. rotating angle |
deg |
380 |
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Spindle |
Rated torque |
N．m |
0.27 |
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Revolution speed range |
rpm |
6,000-60,000 |
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Machine dimensions (W x D x H) |
mm |
1,250 x 1,600 x 1,890 |
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Machine weight |
kg |
2,000 |
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