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TC1201 清洗機

TC1201 清洗機

  • 高壓水冲洗有效移除附着顆粒
  • 兼容晶圆,玻璃和 PCB板的清洗
  • 離子風扇和CO2 混合機可有效去除表面静電
  • 觸控螢幕操作並可存儲操作参數资料
  • 更小的外形尺寸可節省空間
  • 内置安全保護裝置
產品規格
技術規格
項目 內容
工件尺寸
TC1201 : Φ12” ( 275x275 mm square)
清洗甩乾時間设置
0.3sec to 30min
清洗方式
TC1201A : 二流體
TC1201H : 高壓水柱, 20 - 120kgf/cm
主軸轉速
2000rpm
甩乾方式
N2 or air
選配功能
 
離子風扇
Yes
陶瓷工作盤
Yes
二流體喷嘴
Yes
清洗劑
Yes
CO2 混合機
Yes
稳壓装置
Yes
電源
 
電壓
220VAC, 1 phase, 50~60Hz
消耗
1.3kVA
空氣
 
氣壓
5.0~8.0 kgf/cm2
過濾
0.01μm/99.5% or higher
消耗
200L/min
氮氣
 
壓力
5.0~8 .0kgf/cm2
消耗
54L/min
 
壓力
2 - 4kgf/cm2
類型
DI water
流量
0.2 - 1L/min
尺寸
650W x 1100D x 1300H
重量
TC1200 : 250kgw
(以上規格變動不另行通知,最新訊息請洽本公司。)