Semiconductor Industry半導體產業

特點

• 本機為落地型設計UV解膠裝置。
• 光源由下往上方照射，膠膜解膠固化後不掉落。
• 抽屜式手動放置料件，按START一鍵完成解膠作業。
• 抽屜式燈箱組維修及更換部品方便。
• 光源由波長365nm的729顆LED燈組成的面光源，壽命高，照度均勻，不產生臭氧，燈源隨點即亮，無須暖機,待機時燈源熄滅,耗電量少。
• 內建光源強度感測器，可即時偵測光源強度並在人機介面上顯示光源強度及解膠累積總照度。
• 控制系統為PLC搭配人機介面，解膠控制方式為設定總累積照度方式，（非以時間累計），脫膠時間以累積照度調整並顯示於控制面板上，當光源強度衰退時具有照度自動補償功能，避免解膠不足或過度解膠。
• 解膠腔室內有氮氣Purge功能，開啟時將腔室內充滿氮氣加強解膠效果。
• 具有超溫保護等功能，解膠腔室過熱時自動熄燈。
• 具燈粒故障偵測功能，燈板故障時在人機殼面板訊息顯示。
• 人機內建照度校正畫面,可經由UV照度計標準件執行照度校正程序,User可自行校正。
• 內置排風系統增加溫度散熱穩定。

機台操作

• 使用時請先調整AIR氣源壓力至3~5kg/cm2，原廠設定散熱系統啟動溫度35℃，此為最佳的啟動溫度，設定太高可能導致燒機，設定太低可能無法達到操作之照度，強制熄燈溫度設定45°C，此設定溫度保護燈管工作溫度超溫過久導致燒毀。
• 開啟總電源，按POWER啟動電源(紅色燈號亮)。
• 人機操作介面，設定曝光時間的累積照度數，拉出抽屜放入晶片開始操作。
• 托盤放入脫膠料片(依材料尺寸使用不同托盤)，關上抽屜按下START按鈕，啟動製程燈號為藍色閃爍。
• 曝光照射的累積照度數可依UV膠膜自行變更設定，當曝光照射完成後啟動按鈕燈號熄滅。
• 拉出抽屜取出，再進行下一製程操作。
• 操作過程中若有故障或安全上之疑慮，請停止作業，狀況排除後再按上述程序重新開始。
• 不使用時，請按POWER按鈕(燈號熄滅)，關閉總電源以免浪費不必要之能源。

控制系統

• 控制器：可程式控制器PLC。
• 操作介面：7吋彩色人機介面。
• 緊急急停：裝置瞬間停止功能。
• 異常表示：人機顯示、警報聲。

安全裝置

• 過電流及短路保護：無熔絲開關。
• 超溫保護：散熱塊溫度超過45°C時，當次照射完成後燈源自動熄滅，待溫度降至45°C以下時才能再啟動。
• 超時保護：照射時間超過99秒時，將自動熄燈照射程序終止。
• 抽屜開關連鎖：照射程序啟動後，抽屜電磁鎖自動鎖固，如抽屜被拉開，照射程序立即停止。
• 三色燈號：設備狀態顯示。
• 緊急停止開關。

機台安裝

• 機台定位：定位後保持四周整潔以免防礙操作。
• 接地安裝：機台需安裝接地或使用三線式電源線 。
• 電源安裝：單相 AC 220V 50/60Hz（電源線20A以上）。
• N2氣源安裝：使用Φ8mm軟管。
• 排風管安裝：與設備外徑ψ148mm風管連接排出。

技術規格