特點：
清洗方法
TC1201AC
Φ8” and 12”
高壓水，雙流體噴霧器
PLC+（觸摸面板）
TC1201AC 自動溶劑型晶圓旋轉清潔機。其工件尺寸為8英寸和12英寸。由於這是溶劑型清潔機，它具有防火系統設計，使其更加安全。此外，它還具有醋酮和IPA溶劑的雙臂設計。所有零件均採用耐腐蝕設計。
